真空低溫探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

    真空低溫探針臺(tái)的承片臺(tái)X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。

1、總體規(guī)格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：約80Kg

2、結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)

（1）真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）

（2）探針控制：標(biāo)配4個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜

（3）顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物鏡時(shí)），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦

（4）變溫樣品臺(tái)：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.02K

（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖

（6）系統(tǒng)直流漏電低于1pA

3、含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀

4、設(shè)備照片（因配置不同，照片僅供參考）