九九视频免费精品视频-大地资源在线播放观看mv-亚洲色丰满少妇高潮18p-国产成人免费视频-亚洲欧美国产国产综合一区

產品中心

Product Center

當前位置:首頁產品中心實驗室搭建PECVD 射頻模塊上海實驗室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積

上海實驗室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積

產品簡介

上海實驗室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單,與傳統CVD系統比較,生長溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

產品型號:
更新時間:2023-12-21
廠商性質:生產廠家
訪問量:1482

article

相關文章
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探應用領域電子

PECVD簡介

   上海實驗室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。

  上海實驗室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單,與傳統CVD系統比較,生長溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

上海實驗室PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積

KT-PE150S  性能

型號

KT-PE150S

KT-PE500Z

13.56MHz±0.005%

出范

0-150W

0-500W

功率穩定度

5W

射功

40W

出接

7/16,female  50 Ω

定度

5W

匹配方式

手動調節匹配

500W自動匹配

耦合方式

電感式耦合

輝光壓力

30Pa

50/60Hz 220v±10%

70%

強制風冷

支持爐管直徑

φ25-φ80

φ25-φ150

感應區

210mm

48KG

:H x W x D(mm)

600 x 600x 1100



在線留言

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7