真空微型探針臺應用與半導體測試變溫真空腔探針臺系統方案:高低溫真空腔探針系統主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中。
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