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Product Center高溫真空探針臺KT-Z1604TZ,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到400℃。以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。
真空手動探針臺變溫射頻探針熱臺該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面,探針頂尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處,外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。